江蘇半導(dǎo)體廠有機(jī)廢氣治理收集裝置驗(yàn)收完畢，半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。揮發(fā)性有機(jī)廢氣主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序，在這些工序中要用有機(jī)溶液（如異丙醇對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來(lái)源之一；同時(shí)，在光刻、刻蝕等過(guò)程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發(fā)的有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯等在晶片處理過(guò)程中也要揮發(fā)到大氣中，是有機(jī)廢氣產(chǎn)生的又一來(lái)源。半導(dǎo)體制造工藝中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分。在工藝過(guò)程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放。
我公司剛剛在江蘇南京竣工一個(gè)半導(dǎo)體廢氣處理工程，我們?cè)谠搹S兩個(gè)車間分別安裝了
廢氣處理設(shè)備一套和
車間除塵設(shè)備一組?，F(xiàn)在先介紹半導(dǎo)體廠廢氣處理方法。
電子廠廢氣處理方法：
（1）預(yù)處理階段：一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
（2）主要處理階段：在此階段，比較常見(jiàn)而有效方法有：UV光解，生物過(guò)濾分解，焚燒和催化燃燒等。
這幾種方式各有優(yōu)劣，根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況，在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)去除VOCs氣體的方案。這里只是簡(jiǎn)單的介紹廢氣處理方法的一種，如果您想讓我們做方案我們會(huì)為您詳細(xì)介紹，歡迎來(lái)我公司考察。
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